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特气运送面板是气源部分很是主要的控制单位。一样平常工艺气体从钢瓶出来，经由高压控制盘面时，都实现了一次调压、过滤、流量稳固、吹扫、抽真空、压力侦测等功效。差别的气体和工艺需求，可以凭证现真相形定制详细功效。现阶段，越来越多的高校实验室引入了ICP、PVD、PEVCD等装备举行芯片镀膜、刻蚀方面的研究，这些工艺气体多是硅烷、乙烯、溴化氢等毒腐、易燃易爆性气体，关于气源的控制要求很是高，也给供气面板提出了许多要求。

设计参考：

自然性、可燃性、毒性、侵蚀性气体面板应设有紧迫关断阀门，并应为常闭气动阀门，位置应靠近气瓶；

气瓶压力大于0.1MPa的自然性、可燃性、毒性、侵蚀性气体面 板应设有过流开关；

自然性、可燃性、毒性、侵蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫、辅助抽真空装置，真空管路应设止回阀；

气体面板应设置工艺气体排气口。

可燃性特气柜设计参考：

硅烷气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/H，且气柜的负压应一连监控；自燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器；可燃性特种气体的气瓶柜应设置谁喷淋系统；自燃性特种气体的气柜应在气瓶之间设置隔离钢板。

运送控制面板的设计关于整个供气系统的便捷性、生命清静都起到很是主要的控制作用，在设计初期，业主需要将工艺、要求等提供应设计院作为设计依据，同时，在建设周期，有须要参考响应的规范将要求落实到施工当中去。

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